中科院工作人员在观察深紫外全固态激光源平台的运行情况。（新华社记者 马宁摄）

深紫外固态激光源，波长更短、性能更高、成本更低

我国为全球唯一实用化制造者

近日，我国成功自主研制出8台深紫外固态激光源装备，不仅是全球首创，有望使我国科学家在一系列前沿探索中占据主动，更能推进我国尖端科研设备产业化。

我国成为世界上唯一能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家

深紫外激光波段（DUV）是指波长短于200纳米的光波，具有能量分辨率高、光谱分辨率高、光子通量密度大等特点。深紫外激光技术在物理、化学、材料、生命等领域有重大应用价值。然而， 缺乏实用化、精密化激光源，影响了DUV科研装备和前沿研究的发展。 中科院理化所研究员、 深紫外固态激光源前沿装备研制 项目首席科学家许祖彦院士说。

要产生深紫外波段激光，关键是找到合适的非线性光学晶体。在科学界，200纳米常被形容为一堵 墙 ，谁突破了这堵墙，就可能在深紫外重大前沿装备及相关领域的探索中占据制高点。

经过10余年努力，中科院的科研人员在国际上首先生长出大尺寸氟硼铍酸钾晶体（KBBF）。经测试，该晶体是第一种可用直接倍频法产生深紫外波段激光的非线性光学晶体。许祖彦院士研究组与陈创天院士研究组合作，在此基础上发明了KBBF晶体的棱镜耦合技术，即无需按照匹配角斜切割，即可实现激光倍频输出。

KBBF晶体的棱镜耦合技术，使获取实用化的激光源器件成为可能。该技术已经获得中、美、日3国发明专利授权，保证了我国在深紫外激光输出的全球领先地位。

随着晶体和器件制造的突破，我国科学家在全固态激光领域首次打破200纳米这个壁垒， 搭建了深紫外非线性光学晶体与器件和深紫外全固态激光源两个平台，我国也因此成为世界上唯一能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家。

8台科学装备属国际首创，部分产品将进行一定的产业化探索

实用化的深紫外全固态激光源设备出现之前，获取小于200纳米的深紫外波段，主要依靠同步辐射和气体放电等非相干光源。这些光源虽有波长短、波段宽的优势，但设备造价高昂，而且存在能量分辨率低、光子通量小、密度低等不足，不能满足深紫外波段前沿科学装备发展的需求。

一些同步辐射装备，花费近亿元，体积也非常大，实用性比较差；深紫外全固态激光器不仅大大降低了仪器成本，还有更好的性能。 许祖彦说。经过3年多的努力，我国科学家在国际上首次研制成功8台实用化、精密化的深紫外固态激光源装备。